迷你臺棱鏡半自動超高溫實驗反應(yīng)釜的特點

2023年03月24日 09:35 來源：深圳市秋山貿(mào)易有限公司

迷你臺棱鏡半自動超高溫實驗反應(yīng)釜的特點

半自動超高溫實驗反應(yīng)釜最高2000°C

迷你工作臺增加了PLC自動序列以提高
可操作性[迷你工作臺棱鏡（迷你工作臺棱鏡）]

真空置換爐	最高2000°C
還原氣氛爐	最高2000°C

PLC半自動控制自動順序控制（手動調(diào)節(jié)氣體流量→針閥）
半自動控制型電爐操作的自動順序控制臺式型號 “抽真空”和“排氣
” Mini-BENCH監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。由SUS堅固的水冷室制成，即使在最高溫度下連續(xù)使用也可以安全使用。

	真空和氣體置換爐（碳爐）	還原氣氛爐（金屬爐）
最高工作溫度	最高2000°C
加熱器	石墨或C/C復(fù)合加熱器	鎢加熱器
絕緣	石墨氈材料	鎢屏蔽層，氧化鋁絕緣
真空室	SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu)，頂部裝載，線性驅(qū)動可打開（Φ3，僅4英寸）
使用氛圍	在真空或惰性氣體（Ar、N2）中	在真空中，惰性氣體（Ar，N2），還原氣體（H2等）
有效加熱范圍	Φ1“~ Φ4”（用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器），或 -Φ80 x 深度最大100 （H） mm （圓柱形加熱器）
極限真空度	1x10-2 帕斯卡（* 用于空爐）
真空泵	旋轉(zhuǎn)泵（可選：干泵、高真空泵）
熱電偶	包括C型熱電偶
聯(lián)鎖	腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水減少、腔室打開和關(guān)閉
公用設(shè)施和冷卻水	加熱器額定值最大 6KVA（* 取決于加熱范圍尺寸），冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa

* 根據(jù)加熱范圍的尺寸，通過組合平面加熱器和圓柱形加熱器，可以在整個坩堝中均勻加熱。

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

最新產(chǎn)品