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適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹

2023年03月24日 10:51 來源:深圳市秋山貿(mào)易有限公司

適用于大學(xué)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜設(shè)備介紹

TVF-110
立式實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜 最高1200°C

低成本 低要求配置(手動(dòng)控制) 可用作管式爐、擴(kuò)散爐和熱 CVD

罐式加熱器

最高1200°C



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適用于從小樣品到3英寸晶圓的小基板 基座 手動(dòng)升降式立式實(shí)驗(yàn)爐用于基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的低成本立式爐 非常適合大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)。

特征

  • 用戶友好,易于手動(dòng)操作

  • 配置簡(jiǎn)單,是基本實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇

  • 可以以低成本和低的必要規(guī)格提出設(shè)備

  • 我們可以根據(jù)要求定制。

設(shè)備配置

  • 爐體(石英部件,如基座、舟、緩沖器等,包括垂直升降機(jī)構(gòu))

  • 熱電偶

  • 溫度控制單元

  • 支架

原理圖規(guī)格

【電爐部分】規(guī)范
最高工作溫度MAX1200°C (*加熱器最高溫度) 電路板溫度 950°C
加熱器罐式加熱器1區(qū)式1.5KW
爐體陶瓷成型品 Φ290 x 300L(分成兩半)
帶開合功能的鋁制外殼
熱電偶2對(duì)K型護(hù)套熱電偶,用于控制和超溫檢測(cè)
溫度測(cè)量熱電偶Φ0.65mm K帶線型絕緣管1500L
溫度控制PID溫度控制器晶閘管控制


【爐芯管及石英夾具部】規(guī)范
爐芯管Φ100 x Φ95 x 470L
緩沖區(qū)234H x Φ86 屏蔽板 x 2 層
基座Φ86 x t5mm (帶上下桿) x 2-3級(jí)
熱電偶保護(hù)管Φ8 x Φ6 x 660L mm


【基座底座法蘭上下升降部分】規(guī)范
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)手動(dòng)(旋轉(zhuǎn)手柄)
中風(fēng)MAX300mm (基座) MAX500mm (基座法蘭),
帶停止位置刻度,帶可選垂直停止位置鉗位鉗位器


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